Рис. 4. Ножовочные станки:

а и б - пневматические; - электрический; е алмазный

Рис. 5. Ультразвуковое ножовочное приспособление

На панели размечают и просверливают отверстие диаметром 6 мм. В прорезь ползуна вставляют полотно 10 шириной 5 мм и крепят двумя винтами. Упор 13 упирается в поверхность панели; масса приставки 1,4 кг.

Для отрезки заготовок из труднообрабатываемых материалов Рославльским заводом алмазных инструментов освоен серийный выпуск ножовочных полотен, армированных алмазными порошками (рис. 4, г). Общая длина полотна Б = 300 мм; толщина алмазоносного слоя Д = = 0,22- 0,25 мм, длина слоя А = = 160 мм; ширина ленты В = 7 мм; толщина ленты Г == 0,14 мм.

Алмазное ножовочное полотно предназначено главным образом для разрезки полупроводниковых материалов, стекла и керамики. Оно изготовлено методом гальванического покрытия на связке никель гальванический . Применяют порошки из синтетического и природного алмаза зернистостью 2/1 и др. В качестве заготовки применяют стальную ленту толщиной 0,1-0,14 мм. Производительность разрезки полупроводниковых материалов и стекла при применении алмазных прлотен повышается в 10-12 раз по сравнению с разрезкой лентами с использованием абразивной суспензии из зеленого карбида кремния.

Ультразвуковое приспособление, изображегное на рис. 5, предназначено для отрезки заготовок из полупроводниковых материалов, керамики, твердого сплава, кварца, боридов и нитридов. Тонкая лента / из стали У8 припаяна к двум вибраторам 2 акустических головок [42 ]. Ультразвуковые колебания вызывают в ленте продольные волны. Амплитуда продольных колебаний торца концентратора составляет 20-25 мкм; этого достаточно для интенсивной резки. Установка с двумя приставками выполнена на базе станка 4770. Первая приставка состоит из двух акустических головок, установленных на подвижной раме. Вторая приставка имеет двигатель, подвижный рабочий стол с механизмом горизонтального перемещения стола. Оптимальное значение силы подачи 3 кгс. Если в качестве абразива используют карбид бора, то ширина реза получается в 2 раза больше толщины ленты. При глубине реза до 100 мм точность реза получается до 0,1 мм,

Размер отрезаемых заготовок по длине реза I-80 мм; резание производится на глубину 1-120 мм; сила натяжения ленты 15-20 кгс; габаритные размеры ленты: толщина 0,15-0,5 мм и ширина до 40 мм. Хорошее направление реза, высокие стойкость и производительность показали ленты толщиной 0,25-0,3 мм. Сокращение толщины ленты приводит к уменьшению силы, действующей на ленту, и скорости резания. При увеличении толщины ленты до 0,5 мм возрастают отходы разрезаемого материала. Для отрезки заго-

0,9tO,OS

товок применяют различные приспособления. Например, для раскроя пакета керамических, полупроводниковых и других дисков на квадраты, прямоугольники и ромбы используют приспособление, состоящее из оправки, подставки п диска. Ленту припаивают к вибраторам и вводят в соприкосновение с отрезаемой заготовкой. Абразивная суспензия поступает в зону резания, а заготовка получает возвратно-поступательное движение относительно ленты. При включении генератора ультразвуковых колебаний начинается процесс разрезки. На ультразвуковом приспособлении разрезают заготовки длиной от 1 до 80 мм при глубине реза от I до 120 мм [42].

Ленту изготовляют из сталей У8 илн 65Г. Лентами толщиной 0,2 мм и менее целесообразно разрезать дорогостоящие материалы. Ширина ленты зависит от габаритных размеров разрезаемой заготовки. Например, одной лентой 18А шириной 15 мм и толщиной 0,3 мм разрезают че-тыре-пять кремниевых слитков диаметром 45 мм; лентой длиной 400 мм разрезают заготовки по длине реза 200 мм.

Для прорезки пазов толщиной 0,1-0,2 мм в много-дорожечных головках магнитной записи используют приспособление с комплектом ножовочных полотен толщиной 0,1 мм и шириной 5-10 мм, армированных твердым спла-

Рис. 6. Приспособление для прорезки узких пазов