с шаржированными кругами выше в 15-20 раз; раеход алмазов сократился с 18-26 до 3-5 мг/г.

Алмазные круги на металлической связке М04 предназначены для глубокого шлифования стружколомаю-щих канавок на твердосплавных резцах с охлаждением и без него. Работоспособность указанных кругов в 1,3- 2,0 раза выше, чем кругов иа связках М5-5, М5, НИ и Ml. Алмазные круги на связке МС6 работают без охлаждения. Экономический эффект от применения новых кругов составляет 5 р. на I карат алмаза.

Ленинградский абразивный завод Ильич изготовляет круги из эльбора на керамической связке. Стойкость этих кругов между правками возросла в 20-30 раз.

Фирма игЬапех (ФРГ) выпускает алмазные отрезные круги диаметром D = ЗОн-400 мм, толщиной В = = 0,Зч-2 мм, с высотой алмазоносного слоя /г = 3--10 мм и диаметром отверстия d = 6ч-51 мм (рис. 100, б и е).

Фирма Vritz-Vendt (ФРГ) изготовляет алмазные отрезные круги жесткой конструкции, изображенной на рис. 100, г, диаметром D = 100 ч-200 мм, толщиной В = = 1-5 мм, высотой алмазоносного слоя 3-5 мм и диаметром отверстия d = 6-10 мм, а также круги менее жесткой конструкции с D = 50--150 мм, В = 0,5-н1,0, /i = 5 мм и d = 14 мм (рис. 100, г-д).

Для разрезки слитков германия и кремния Рославль-ский завод алмазных инструментов изготовляет алмазные отрезные круги с внутренней режущей кромкой (АВРК). Круг представляет собой диск, на внутреннюю кромку которого методом гальванического покрытия нанесен алмазный слой (рис. 101, а). Связкой и наполнителем является никель. Круги выпускают из синтетического алмаза зернистостью А 50/40. Диск должен быть установлен точно. Для обеспечения прямолинейности разрезаемая деталь подается в радиальном направлении с минимальной силой. Материал, из которого выполнена основа круга, бронза Бр.ОФ 6,5-0,15. Толщина бронзового листа составляет 0,1 мм, толщина диска вместе с алмазоносным слоем равна 0,2+-° мм; наружный диаметр диска равен 206 мм, а внутренний 83 мм. Расход алмазного порошка на один диск составляет 0,5 кар. Круг устанавливают наружным диаметром в патроне и натягивают винтами, при этом корпус приобретает необходимую жесткость. Радиальное биепие режущей кромки не превышает 0,02 мм,

а торцовое биение равно нулю. При этом достигаются высокая точность и экономичность разрезки.

Ширина реза при толщине режущей кромки 0,18- 0,2 мм составляет 0,22 мм. При отрезке столу сообщается продольная подача с бесступенчатой скоростью. Толщина отрезаемой заготовки устанавливается при помощи механизма поперечной подачи. Отклонение от плоскост-

2 Д 41

Рис. 101. Алмазные отрезные круги с внутренней режущей кромкой (о) и способы крепления кругов:

б) 1,7- болты; 2 - кольцо; 3 - прокладки; 4, 6 оправки; 5 диск; в и г-1, 2-выточки; 3-диск; 4-насечка

ности не превышает 0,01 мм при разной толщине пластин не более 0,02 мм. При зернистости алмаза 315/250 шероховатость поверхности соответствует 7-8-му классу чистоты. При установке на станок круг центрируют по внутреннему отверстию при помощи микроскопа МИР-1 или с помощью индикатора. Затем круг закрепляют восемью болтами.

Фирмы Osaky Doimond Коге и lamato Daimond Коге (Япония) изготовляют алмазные круги с внутренней режущей кромкой типов А, В, G, Д, Е. Основные размеры

Размеры кругов в мм

кругов с внутренней режущей кромкой представлены в табл. 42.

Схема крепления кругов с внутренней алмазной кромкой, применяемая фирмами, показана на рис. 101, б. Фирмы используют конструкцию крепежных колец с неровной (рис. 101, в) и ровной поверхностями (рис. 101, г). В первом случае круг оказывается в напряженном состоянии. Для колец с ровной поверхностью начальное напряжение равно нулю; чтобы создать натяжение металлического основания круга, на внешней стороне кольца делается насечка. Крепежное кольцо с неровной поверхностью (рис. 101, в) имеет выточку / под крепежный болт, выточку 2 под стягивающий болт и алмазный диск 3. Крепежное кольцо с ровной поверхностью (рис. 101, г) имеет выточку / под крепежный болт, выточку 2 под стягивающий болт, алмазный диск 5 и насечку 4. Приклеивание слитков к державке производится шеллаком. Державка и торец слитка обезжириваются ацетоном; перед склеиванием их нагревают до 100-120° С.

Съем отрезаемых пластин при наклейке слитков торцом производится при помощи сбрасывателей или вакуумных присосок. При наклейке боковой поверхностью пластины снимаются в растворителе. Разрезка слитков производится с охлаждением 3-5%-ным раствором кальцинированной соды в воде. Круг изнашивается после отрезки 2680 пластин из кремния. При толщине пластин 0,2 мм потери полупроводникового материала составляют 0,025-0,035 мм. Зазор между металлическим основанием и алмазным слоем на каждой стороне круга составляет 0,05 мм.

Разрезаемый полупроводниковый материал прижимается к кругу с помощью груза. Схема установки круга